簡要描述:直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設備螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設備
直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設備
特點
通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
型號 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
最大排氣速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
到達壓力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | 大氣壓 | |||||
電源 *2 | 單相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 單相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
電機額定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
吸氣口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
排氣口 | KF25 | KF40 | ||||
質(zhì)量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
符合規(guī)格 | CE、cTUVus | |||||
冷卻方式 | 空冷 | |||||
氣鎮(zhèn)機構 *3 | 選配件 | |||||
最大水蒸氣處理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
標準附件 | 電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護套 |
※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時的值。
※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓,訂購時注明。
※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮(zhèn)時候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時請務必使用 氣鎮(zhèn)機構。
型號 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
氣鎮(zhèn)機構 | 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
電磁閥 + 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
橡膠腳墊 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
型號 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
消音器 | RS-01+套件 D | 〇 | 〇 | - | - |
RS-01+套件 A | - | - | 〇 | - | |
RS-01+套件 C | - | - | - | 〇 | |
簡易型消音器 *1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
電源互換BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 由于是濾芯型消音器,因此需要更換維護。
*2 不能連接到管路上。(開放型)
|
|
|
|
|
電話
微信掃一掃