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進口ULVAC愛發(fā)科 低速運轉的羅茨泵
進口ULVAC愛發(fā)科 低速運轉的羅茨泵
特點
可直連羅茨泵（MBP）
使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
用途
光學膜蒸鍍設備
反射器蒸鍍設備
裝飾用蒸鍍設備
薄膜卷繞蒸鍍設備
內嵌濺射設備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設備
檢漏設備
| 型號 | PMB-040C | PMB-060C | ||
| 抽氣速率 | 50Hz | 3,800 m3/h (63,300 L/min) | 6,200 m3/h (103,300 L/min) | |
| 60Hz | ||||
| 最大吸氣壓力 | 50Hz | 8.0 x 102 Pa | ||
| 60Hz | ||||
| 最大允許壓差 | 50Hz | 5.9 x 103 Pa | 5.1x103 Pa | |
| 60Hz | ||||
| 到達壓力 *1 | 6.7 x 10-1 Pa | |||
| 容許驅動壓力 | 8.0 x 10-2 Pa | |||
| 電機 | 電機類型 | 全封閉外扇形三相感應電動機 | ||
| 高效率等級 | IE3 | |||
| 出力 | 15 kW (4 極數) | 18.5 kW (4 極數) | ||
| 電壓 (200V系) | 50Hz | 200 V | ||
| 60Hz | 200 / 220 V | |||
| 液壓油 | ULVOIL R-72 | |||
| 油量 | 8 L | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||
| 冷卻水 | 一次側壓力 | 0.3 Mpa | ||
| 吸氣/排氣口壓差量 | 0.05 Mpa | |||
| 冷卻水量 | 10 L/min | |||
| 水溫 *2 | 5 ～ 30 ℃ | |||
| 吸氣口 | VG250 相當 | VG300 相當 | ||
| 排氣口 *3 | VF150 相當 | VF200 相當 | ||
| 外直徑(尺寸) *4 | 772 x 1182 x 680mm | 772 x 1452 x 680mm | ||
| T1 / T2 | 50Hz | 1570 / 900 mm | 1608 / 900 mm | |
| 60Hz | 1570 / 940 mm | 1608 / 940 mm | ||
| 重量 | 970 kg | 1100 kg | ||
| 標準低真空泵 | PKS-070B | PKS-070B x 2 | ||
| 符合規(guī)格 | - | |||
| 標準附屬品 | 沒有電機 | 沒有電機 | ||
| 選配件 | 與上述不同的可用電機電壓。 | |||
Note) 此目錄使用 SI單位系統。 使用非 SI單位制的轉換如下。
6.7 x 10-1 Pa = 5 × 10-3 Torr
*1 用皮拉尼真空計測定。 (測量條件 : 標準后備泵和標準真空油。)
*2 在無結露的環(huán)境中使用。
*3 排氣口（排氣口）方向可以選擇。
*4 有關其他尺寸，請訪問ULVAC網站并參考發(fā)布的CAD數據。
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