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日本ULVAC愛發(fā)科 羅茨型真空泵LS1200A

簡要描述：日本ULVAC愛發(fā)科 羅茨型真空泵LS1200A
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號：UR421-T
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-08-10
  • 訪  問  量：195
詳情介紹

日本ULVAC愛發(fā)科 羅茨型真空泵LS1200A

日本ULVAC愛發(fā)科 羅茨型真空泵LS1200A

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

規(guī)格

型號UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:請勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進行連續(xù)運
*　沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請另行確認



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