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全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850
全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
高精準(zhǔn)度
額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
可配置的多氣體/多范圍功能
易于訪問的獨(dú)立診斷/服務(wù)端口
廣泛的通信選項(xiàng),包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口
模塊化設(shè)計(jì),方便工廠或現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)
傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性消除了維護(hù)或定期重新校準(zhǔn)的需要,從而降低了總擁有成本
Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術(shù)可提高信噪比并提高低設(shè)定點(diǎn)下的流量精度
通過一個(gè)設(shè)備平臺(tái)兼容各種氣體范圍/流量范圍
最多可以編程和保存 6 種校準(zhǔn)類型。通過一臺(tái)設(shè)備即可在不同氣體和范圍之間切換,從而減少庫存
用戶可以輕松訪問服務(wù)端口,并簡(jiǎn)化安裝、故障排除和診斷任務(wù),而無需中斷流量控制器操作
耐用的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞
多協(xié)議通信接口簡(jiǎn)化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成
通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)高精度
化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝
實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)
燃料電池技術(shù)
生命科學(xué)生物反應(yīng)器
17025 認(rèn)證設(shè)備(包括線性度,不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測(cè)量不確定度,根據(jù) SEMI E69)
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)
1100 slpm 至 2500 slpm:±0.6% FS
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(包括參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)
1100 slpm 至 2500 slpm:滿量程的 ±1.0%
0.20% SP
包含在準(zhǔn)確度中
0.003 - 100 slpm:<1 秒
100 - 2500 slpm:<3 秒
標(biāo)準(zhǔn)
.003-200 slpm:1500 psi/103 巴
100 - 2500 slpm:1000 psi/70 巴
最大 50 slpm 設(shè)備上可選 4500 psi/310 bar
1-50 slpm:FS 調(diào)節(jié)比為 100:1
50-2500 lpm:FS 調(diào)節(jié)比為 50:1
每年 < 0.2%FS
零:每o C < FS 的 0.05%
量程:每o C < SP 的 0.1%
0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )
重新調(diào)零后與規(guī)定精度的最大偏差<0.2% FS
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